saltar al contingut principal
Cercar
URV

FESEM Plataforma Nanotecnològica CATSUD-URV

FESEM-FIB

El FESEM-FIB és un microscopi electrònic de rastreig d'emissió de camp acoblat a un canó d'ions que integra un feix d'electrons i un feix d'ions de gal·li focalitzats que permeten l'obtenció d'imatges d'ultra alta resolució, preparació de mostres per microscòpia de transmissió i caracterització 3D de tot tipus de materials, incloent fins i tot materials magnètics i aïllants. Disposa d'un detector d'espectrometria de dispersió d'energia de raigs X, d'un micromanipulador i 4 injectors de gasos que permeten el creixement de nano-estructures amb alta resolució o el decapat de zones concretes.

CARACTERÍSTIQUES

 

L'equip Scios 2 de FEI Company es caracteritza per:

Una columna d'electrons NiCol (Non-Immersion Column) amb lents electrostàtiques que permeten ultra alta resolució i és molt apropiada per a mostres magnètiques. Té 3 detectors a la columna amb un alt contrast de la imatge:

  • per a imatge de contrast per materials (BSD)
  • per a imatge d'alta resolució (SE)
  • per a imatges de detalls de superfície 

Columna d'ions: gran rang d'alta tensió pel gravat de grans volums, suspensió de la deriva per a mostres amb càrrega

Detector ETD d'electrons secundaris en la càmera

Detector concèntric d'electrons retrodispersats (CBSD) per a contrast de composició i materials, i per a informació de superfície i contrast topogràfic.

Detector segmentat STEM integrat (camp clar, camp fosc i  anular d'alt angle)

Micromanipulador totalment automatitzat

Detector de raigs X

APLICACIONS

1. Obtenció d'imatges d'ultra alta resolució per a un ampli rang de mostres, incloent materials magnètics i aïllants.
2. Preparació de mostres (lamel·les) ràpida i fàcil per a microscòpia de transmissió d'alta qualitat i de zones molt especifiques utilitzant la columna d'ions.
3. Obtenció d'informació més completa de la mostra utilitzant els diferents detectors integrats (informació morfològica i composicional).
4. Informació subsuperficial i 3D d'alta qualitat i precisió utilitzant els softwares més avançats.
5. Realització de talls nanomètrics en sèrie per a la posterior reconstrucció tomogràfica 3D.
6. Navegació precisa per la mostra gràcies a la flexibilitat del portamostres i de la càmera de navegació.
7. Estudis químics i cristal·logràfics de microestructures de la mostra.
8. Creació de noves estructures o modificació de les existents, gràcies al FIB i als diferents gasos.

Imatges i resultats

FESEM-FIB      
   
       
Amb el suport de:
             
Aquest projecte ha estat cofinançat per la Unió Europea mitjançant el Fons Europeu de Desenvolupament Regional (FEDER)