saltar al contingut principal
Cercar
URV

Sala blanca


Descripció tècnica

De flux laminar i classificada amb grau D (EU GGMP classificació), que correspon a classe 100.000 (Federal Standard 209). Dins de la sala s'hi troba la polvorització catòdica RF-DC, per deposar capes primes de tot tipus de materials (conductors, semiconductors i dielèctrics) i la nanolitografia, generador de patrons de resolució superior a la micra per escriptura directa sobre substrat mitjançant litografia làser. També disposem d’una bancada química per a processos de gravat amb aigua règia i deposicions mitjançant revestiment per centrifugació (spin-coating).

Fora la sala hi ha un marcador làser (Fenix), amb potència de 25 W, capaç de marcar àrees de fins a 27 x 27 mm damunt de plàstic, metall, vidre, fusta, etc., amb una velocitat de 225 caràcters per segon. Per a recuits d’alta temperatura, podem fer servir un forn tubular amb flux controlat d’amoníac.
 

Aplicacions

Especialment indicat per a MEMS, BioMEMS, Microoptics, Microfluidics, Sensors i totes les aplicacions que requereixin microestructures.

Equipament

Marcador làser Fenix Flyer. Synrad
Sputtering ATC Orion 8-HV. AJA International
Litografia DWL 66fs. Heidleberg Instruments